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传感器动态

    沈阳仪表院隶属于国机集团,它此前承担的高性能硅电容压力传感器研制,是属于沈阳市高新技术产业发展计划项目,据了解该项目现在已经顺利通过验收。在这之前该技术一直被国外一些传感器企业所占有。
    据介绍,该项目建成以后,可实现年产一万台硅电容压力传感器的能力,这将大大减小该产品的市场供求压力。该项目在研制过程中,勇敢突破国外传感器企业对技术的封锁,实现了该型产品的国产化,可以进行系列化生产。不仅如此,它还解决了以往市场上有表无芯的局面,大大推动传感器、变送器及相关仪表产业的向前发展。它实现智能变送器产品核心传感器的国产化配套,这在国内也是第一次,影响深远。
    该种硅电容压力传感器之所以性能如此卓越,与其制造技术和工艺技术分不开。它在传感器设计和元器件封装突破以往思路,大胆进行创新,工艺上采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术,解决了长期以来一直困扰硅电容传感器研制的工艺技术难题,开发出来的压力传感器完全拥有自主知识产权。据内部人士透露,该型产品精度优于0.075%FS,性能上完全可以同国外先进的压力传感器相媲美,技术上已达到国内领先、国际一流的水平。
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