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传感器知识

    陶瓷湿度传感器大多采用多孔状金属氧化物为材料。它有良好的物理化学稳定性和热稳定性。制作过程中通过控制合理的组织和结构,则可制成稳定性好、响应快、灵敏度高、湿滞小的高品质湿度传感器。陶瓷湿度传感器的产品有:

    一、ZnO-Cr2O3湿度传感器

    该温度传感器采用ZnO为主要基体的氧化物半导体材料,由于其功耗低,并且可以连续测湿,成本低,适宜批量生产。这种传感器制作过程一般采用掺入一定量的Li2O和V2O5的ZnO材料,在800-900摄氏度下烧结成多孔陶瓷粉,然后压成直径8mm、厚度为0.2mm的薄片做湿敏元件。然后在元件两端,熔接Pt-Lr丝做成电极引线,固定在基座上,焊上引线,封装到塑料外壳中。该传感器有点在于抗振强、体积小、量程宽、抗污染性能好。

    二、MgCr2O4-TiO2系湿度传感器

    该温度传感器是一种典型的多孔陶瓷湿度传感器,它具有灵敏度高、测湿范围宽、响应好、高温清洗后性能稳定等优点,都已实现商品化。它是以MgCr2O4为基本材料,加入一定比例的TiO2,通常在1300摄氏度烧结制成。将MgCr2O4-TiO2制成的陶瓷压成薄片,使其粒径为1-2微米,晶粒间孔径为0.05-0.3微米,然后在其两表面涂RuO2电极,引线。

    三、ZrO2系厚膜型湿度传感器

    该湿度传感器采用IC厚膜技术和电子陶瓷技术制成,不仅降低了成本,还大大提高了传感器的一致性,满足批量生产要求。这种湿度传感器感湿层是一种多孔的ZrO2系厚膜材料,它可以用碱金属调节阻值大小并且提高它的长期稳定性。它的制作方法为:首先,制成一定粘度的ZrO2湿敏材料浆,然后在陶瓷衬底上,烧结成感湿厚膜,焊上引线,并进行碱金属化处理,装上防尘过滤膜,即完成制作。这种湿度传感器还具有良好的抗老化和污染性能。

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