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M-DW1系列 晶圓檢出光電開關
M-DW1系列 晶圓檢出光電開關
产品型号: M-DW1系列
产品价格: 来电咨询
产品品牌: 松下
产品类别: 光电量传感器-光电量
发布地区: 上海市-上海市
发布时间: 2011/7/11

详细介绍

晶圆定位传感器
 M-DW1
订购时的注意事项 传感器订购指南 一般注意事项
▲ ▲ ▲
F-18 P.779~ P.1434~
采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器
EMC指定适用 Recognition认证
安全性卓越的LED式 可检测涂氮晶圆
以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加 氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长
载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。 因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。 光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。而
LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也
LED光 激光
可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
亦可检测玻璃晶圆
LED式定位传感器 激光式定位传感器
M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的
多少都能检测出玻璃晶圆。
基于2段受光元件的高精度位置检测
利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状 玻璃晶圆
投光
会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光
透过光
元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因 反射光
此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,
质量约为75g的小巧、轻盈型。
50mm
■2段受光元件
元件-A 18.3mm
反射光
80.6mm
元件-B


公司名称:上海莘泽机电设备有限公司 联系人:李先生
所在区域:上海市-上海市 电子邮件:li83ning83@163.com
联系方式:15900633397 传真号码:
公司地址:上海市嘉定区华江支路677弄20号 QQ:362113437
 

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